Verfahren zum Assemblieren von Substraten durch Ablagern einer Dünnen Oxid- oder Nitrid-Bondshicht

EP1900020 Art A1 19. März 2008

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1900020
Aktenzeichen
EP06778776
Anmeldetag
5. Juli 2006
Veröffentlichung
19. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/78H01L21/58H01L21/98
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Kanzlei
Ipsilon Bourg-la-Reine, Frankreich

Ipsilon wurde 2001 gegründet und ist durch gezielte Zukäufe zu einer führenden französischen IP-Gruppe gewachsen, mit Standorten in Frankreich, den Benelux-Ländern sowie Karlsruhe, München, Luxemburg und New York. Fokus liegt auf Kompetenz statt reiner Größe.

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