Waschvorrichtung und Waschverfahren
EP1900448
Art B1
14. April 2010
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1900448
- Aktenzeichen
- EP06767496
- Anmeldetag
- 28. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 14. April 2010
- Erteilung
- 14. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Wiedemann, Peter
München, Deutschland
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