Turbomolekularpumpe und Verfahren zur Montage der Turbomolekularpumpe

EP1900944 Art B1 15. Januar 2014

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1900944
Aktenzeichen
EP06766796
Anmeldetag
16. Juni 2006
Veröffentlichung
15. Januar 2014
Erteilung
15. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/64
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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