Halbleiterdefekt-Analyseeinrichtung, Defektanalyseverfahren und Defektanalyseprogramm

EP1901079 Art A1 19. März 2008

Anmelder: HAMAMATSU PHOTONICS K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1901079
Aktenzeichen: EP06766970
Anmeldetag: 20. Juni 2006
Veröffentlichung: 19. März 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/302H01L21/66G01N21/956G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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