Filtrationsmodul

EP1901825 Art B1 3. Dezember 2014

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1901825
Aktenzeichen
EP06768261
Anmeldetag
11. Juli 2006
Veröffentlichung
3. Dezember 2014
Erteilung
3. Dezember 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B01D29/13B01D29/52B01D63/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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