Lokalisiertes Oberflächenglühen von Komponenten für Substratbehandlungskammern

EP1902003 Art B1 25. April 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1902003
Aktenzeichen
EP06787040
Anmeldetag
12. Juli 2006
Veröffentlichung
25. April 2018
Erteilung
25. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67C03B25/02H01L21/683B23K26/00C04B41/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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