Vorrichtung zur Lagerung von Substraten
EP1902464
Art B1
12. Juni 2019
Anmelder: Murata Machinery, Ltd., Brooks CCS RS AG, Tec-Sem AG 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1902464
- Aktenzeichen
- EP06752907
- Anmeldetag
- 6. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2019
- Erteilung
- 12. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/673H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Murata Machinery, Ltd.
Brooks CCS RS AG
Tec-Sem AG - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Murata Machinery
Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.
1.507 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwälte Klein & Klein
Kaiserslautern, Deutschland
116
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Weickmann & Weickmann PartmbB
Weickmann & Weickmann PartmbB · München