Trägerplatte mit einer darauf aufgesetzten gekühlten Rückenplatte

EP1903123 Art B1 22. Februar 2012

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1903123
Aktenzeichen
EP07024025
Anmeldetag
19. November 2004
Veröffentlichung
22. Februar 2012
Erteilung
22. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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