Maskendatenerstellungsprogramm, Maskendatenerstellungsverfahren, Maskenherstellungsverfahren, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes
EP1903389
Art B1
31. März 2010
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1903389
- Aktenzeichen
- EP07018089
- Anmeldetag
- 14. September 2007
- Veröffentlichung
- 31. März 2010
- Erteilung
- 31. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Weser, Thilo
München, Deutschland
265
Patente gesamt
21
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte