Resistzusammensetzung, für die Resistzusammensetzung verwendetes Harz, und Verfahren zur Musterbildung unter Verwendung der Resistzusammensetzung

EP1903394 Art B1 29. April 2015

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1903394
Aktenzeichen: EP07018737
Anmeldetag: 24. September 2007
Veröffentlichung: 29. April 2015
Erteilung: 29. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/039G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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