Teilchenstrahlinstrument und Verfahren zur Detektion geladener Teilchen
EP1903594
Art A3
31. März 2010
Anmelder: Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1903594
- Aktenzeichen
- EP07253731
- Anmeldetag
- 20. September 2007
- Veröffentlichung
- 31. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Roberts, David Leslie
Cambridge, Großbritannien
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Fachgebiete
11
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