Verfahren zur Verringerung der Chemischen Diffusion in Parylen und Einfangen an Grenzflächen von Parylen zu Parylen
EP1904663
Art A2
2. April 2008
Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1904663
- Aktenzeichen
- EP06758552
- Anmeldetag
- 21. April 2006
- Veröffentlichung
- 2. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
California Institute of Technology
Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.
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La Hulpe, Belgien
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