Aktiv-Retikelwerkzeug und Lithographische Vorrichtung

EP1904896 Art A1 2. April 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1904896
Aktenzeichen
EP06762034
Anmeldetag
13. Juni 2006
Veröffentlichung
2. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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