Passiv-Retikel-Werkzeug, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zum Strukturieren eines Bauelements in einem Lithographiewerkzeug

EP1904897 Art A2 2. April 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1904897
Aktenzeichen
EP06776050
Anmeldetag
13. Juni 2006
Veröffentlichung
2. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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