Entfernungslösung für Lichtempfindliche Zusammensetzung

EP1904899 Art A1 2. April 2008

Anmelder: SHOWA DENKO K.K., SHOWA DENKO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1904899
Aktenzeichen
EP06781154
Anmeldetag
11. Juli 2006
Veröffentlichung
2. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/42G02B5/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SHOWA DENKO K.K.
SHOWA DENKO KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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