Verfahren zur Herstellung einer Struktur durch Unterschneiden einer Druckmaske

EP1906229 Art B1 16. Juni 2010

Anmelder: Palo Alto Research Center Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1906229
Aktenzeichen: EP07100906
Anmeldetag: 22. Januar 2007
Veröffentlichung: 16. Juni 2010
Erteilung: 16. Juni 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/00G02F1/1335

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Palo Alto Research Center Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Palo Alto Research Center

US-amerikanisches Forschungsinstitut in Palo Alto, bekannt als PARC, das für Xerox und externe Auftraggeber Grundlagen- und angewandte Forschung in Informatik, Elektronik und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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