Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Nanostrukturen

EP1907611 Art A1 9. April 2008

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1907611
Aktenzeichen
EP06755732
Anmeldetag
6. Juli 2006
Veröffentlichung
9. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
D01F9/127D01F9/133D01F11/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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