Verfahren und Vorrichtung zur Mehrkathoden-Pvd-Beschichtung und Substrat mit Pvd-Beschichtung

EP1908091 Art B1 12. Februar 2020

Anmelder: Systec System- und Anlagentechnik GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1908091
Aktenzeichen: EP06762519
Anmeldetag: 11. Juli 2006
Veröffentlichung: 12. Februar 2020
Erteilung: 12. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Systec System- und Anlagentechnik GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Zounek, Nikolai Wiesbaden, Deutschland

100

Patente gesamt

25

Fachgebiete

8

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Medizintechnik & Gesundheit Elektronik & Schaltungstechnik

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