Abrupt-Metall-Isolator-Übergangs-Wafer und Wärmebehandlungsvorrichtung und Verfahren für den Wafer
EP1908100
Art A1
9. April 2008
Anmelder: Electronics and Telecommunications Research Institute, ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1908100
- Aktenzeichen
- EP06769162
- Anmeldetag
- 4. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 9. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687H01L21/00H01L21/324
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Electronics and Telecommunications Research Institute
ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
ETRI (Electronics and Telecommunications Research Institute)
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon. Forscht in Telekommunikation, Halbleitertechnik, künstlicher Intelligenz, Rundfunktechnik und Informations- und Kommunikationstechnologien.
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Vertreten von
Günther, René
München, Deutschland
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6
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