MEMS-Gehäuse auf Waferebene und dessen Herstellungsverfahren

EP1908727 Art A1 9. April 2008

Anmelder: Seiko Epson Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1908727
Aktenzeichen
EP06121695
Anmeldetag
3. Oktober 2006
Veröffentlichung
9. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B81C5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Seiko Epson Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Epson

Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.

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