Oberflächenpositions-Detektionsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP1909062 Art B1 5. März 2014

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1909062
Aktenzeichen: EP06767469
Anmeldetag: 28. Juni 2006
Veröffentlichung: 5. März 2014
Erteilung: 5. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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