Systeme und Verfahren für Aufnahmesubstrate

EP1909978 Art A2 16. April 2008

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1909978
Aktenzeichen
EP06788949
Anmeldetag
31. Juli 2006
Veröffentlichung
16. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B08B17/00H01L21/322H01L21/00C23C16/44G01N33/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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