Systeme und Verfahren für Aufnahmesubstrate
EP1909978
Art A2
16. April 2008
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1909978
- Aktenzeichen
- EP06788949
- Anmeldetag
- 31. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 16. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B17/00H01L21/322H01L21/00C23C16/44G01N33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kirkham, Nicholas Andrew
NoneSevenoaks