Porendichtung und Reinigung von Porösen Strukturen mit Niedriger Dielektrizitätskonstante

EP1913628 Art A1 23. April 2008

Anmelder: Freescale Semiconductor, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1913628
Aktenzeichen
EP05782794
Anmeldetag
5. August 2005
Veröffentlichung
23. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/3105H01L21/768C11D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Freescale Semiconductor, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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