Verfahren zur Herstellung einer Folie mit Hoher Dielektrizitätskonstante und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP1913629 Art A1 23. April 2008

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, NEC Electronics Corporation 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1913629
Aktenzeichen
EP06777405
Anmeldetag
21. Juni 2006
Veröffentlichung
23. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/314C23C16/40C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
NEC Electronics Corporation
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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