Schutzfilmestruktur von Metallelement, Metallbauteil mit Schutzfilmstruktur und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiters oder eines Flachdisplays mit Schutzfilmstruktur

EP1914330 Art A1 23. April 2008

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Mitsubishi Chemical Corporation, Nihon Ceratec Co., Ltd., MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1914330
Aktenzeichen: EP06766798
Anmeldetag: 16. Juni 2006
Veröffentlichung: 23. April 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C28/00C23C8/10C25D11/08C25D11/10C25D11/16C25D11/18H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOHOKU UNIVERSITY
Mitsubishi Chemical Corporation
Nihon Ceratec Co., Ltd.
MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von