Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit mehreren Dielektrika

EP1914800 Art A1 23. April 2008

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1914800
Aktenzeichen
EP06022046
Anmeldetag
20. Oktober 2006
Veröffentlichung
23. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/8234H01L21/8238H01L27/088H01L27/092
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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