Alternative Brennstoffe für Euv-Lichtquellen

EP1915596 Art B1 29. Oktober 2014

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1915596
Aktenzeichen
EP06774093
Anmeldetag
27. Juni 2006
Veröffentlichung
29. Oktober 2014
Erteilung
29. Oktober 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G01J3/10H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Pfau, Anton Konrad München, Deutschland
154
Patente gesamt
29
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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