Mikrowellen-Plasmareaktor

EP1915768 Art B1 10. September 2014

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1915768
Aktenzeichen
EP06765116
Anmeldetag
27. Juli 2006
Veröffentlichung
10. September 2014
Erteilung
10. September 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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