Gerichtete Abführung zur Kontaktfreien Trocknung von Wafern
EP1915775
Art A2
30. April 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1915775
- Aktenzeichen
- EP06788607
- Anmeldetag
- 26. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 30. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302H01L21/461B08B3/10B08B5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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