Gruppe-V-Metall enthaltende Vorläuferverbindungen und deren Verwendung zur Abscheidung von metallhaltigen dünnen Schichten
EP1916253
Art A1
30. April 2008
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1916253
- Aktenzeichen
- EP06301090
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 30. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F17/00C23C16/30
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Centre National de la Recherche Scientifique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
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