Gruppe-V-Metall enthaltende Vorläuferverbindungen und deren Verwendung zur Abscheidung von metallhaltigen dünnen Schichten

EP1916253 Art A1 30. April 2008

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1916253
Aktenzeichen
EP06301090
Anmeldetag
26. Oktober 2006
Veröffentlichung
30. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C07F17/00C23C16/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Centre National de la Recherche Scientifique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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