Verfahren zur Abscheidung von Metallfilmen mittels CVD- oder ALD-Prozessen auf Diffusionsbarriereschichten

EP1916707 Art A3 7. Oktober 2009

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1916707
Aktenzeichen: EP08150390
Anmeldetag: 30. April 2004
Veröffentlichung: 7. Oktober 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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