Verfahren zur Dotierung einer FIN-basierten Halbleitervorrichtung

EP1916717 Art A3 22. Dezember 2010

Anmelder: IMEC VZW, IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1916717
Aktenzeichen: EP07114868
Anmeldetag: 23. August 2007
Veröffentlichung: 22. Dezember 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/336H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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