Verwendung von Cmp zur Herstellung von Aluminium Spiegeln und Solarzellen

EP1917122 Art B1 16. Mai 2018

Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1917122
Aktenzeichen
EP06851111
Anmeldetag
22. Juni 2006
Veröffentlichung
16. Mai 2018
Erteilung
16. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
B24B13/015B24B37/04B24D13/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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