chemische Ätzzusammensetzung zur Herstellung von 3D-Nanostrukturen
Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1918261
- Aktenzeichen
- EP06122987
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 7. September 2016
- Erteilung
- 7. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C15/00C07C211/31C07C217/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Karlsruher Institut für Technologie
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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Forschungszentrum Karlsruhe war eine deutsche Großforschungseinrichtung, die 2009 im Karlsruher Institut für Technologie (KIT) aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Mess- und Halbleitertechnik, ergänzt durch Medizin- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2009.
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