Verfahren und Vorrichtung zur Photomasken-Plasma-Ätzung
EP1918970
Art B1
21. September 2016
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1918970
- Aktenzeichen
- EP07020930
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 21. September 2016
- Erteilung
- 21. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.794 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
Patente gesamt
31
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München