Verfahren und Vorrichtung zur Photomasken-Plasma-Ätzung

EP1918971 Art B1 9. Dezember 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1918971
Aktenzeichen
EP07020931
Anmeldetag
25. Oktober 2007
Veröffentlichung
9. Dezember 2015
Erteilung
9. Dezember 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23F4/00G03F1/80
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.794 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich München, Deutschland
751
Patente gesamt
31
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
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