Belichtungsvorrichtung und Immersionsbelichtungsverfahren

EP1918983 Art A1 7. Mai 2008

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1918983
Aktenzeichen: EP06782282
Anmeldetag: 3. August 2006
Veröffentlichung: 7. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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