Waferhalter für eine Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiters
EP1918990
Art A1
7. Mai 2008
Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1918990
- Aktenzeichen
- EP07024080
- Anmeldetag
- 18. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/48C04B37/00C04B41/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sumitomo Electric Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Electric Industries
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
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