Verfahren zur Verbesserung der Nanotopographie der Oberfläche einer Scheibe und Drahtsägenvorrichtung

EP1920885 Art B1 8. Februar 2017

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1920885
Aktenzeichen
EP06782522
Anmeldetag
9. August 2006
Veröffentlichung
8. Februar 2017
Erteilung
8. Februar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
B24B27/06B24B47/04B28D5/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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