Verfahren zur Herstellung von Teilen auf der Basis von Yttriumoxid und Plasmareaktorteilen aus Yttriumoxid
EP1921053
Art A1
14. Mai 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1921053
- Aktenzeichen
- EP07018393
- Anmeldetag
- 19. September 2007
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C04B35/64C04B35/505H01J37/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
Patente gesamt
31
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte
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Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
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