Verfahren zur Bildung eines wasserstoffhaltigen amorphen Siliziumfilms durch Elektronzyklotronresonanz
EP1921178
Art A1
14. Mai 2008
Anmelder: Dow Corning Corporation, Ecole Polytechnique 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1921178
- Aktenzeichen
- EP06301113
- Anmeldetag
- 2. November 2006
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/24C23C16/511H01J37/32H01L31/20H01L31/0392H01L31/0376H01L31/028
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Dow Corning Corporation
Ecole Polytechnique - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Dow Corning
US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.
2.754 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Greene, Simon Kenneth
Sevenoaks, Großbritannien
2.080
Patente gesamt
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Fachgebiete
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Portch, Daniel
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Boon, Graham Anthony
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