Verfahren und Vorrichtung zur plasmaunterstützten chemischen Dampfphasenabscheidung
EP1921656
Art B8
9. Juli 2014
Anmelder: Auer Lighting GmbH, Schott AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1921656
- Aktenzeichen
- EP07017531
- Anmeldetag
- 7. September 2007
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2014
- Erteilung
- 9. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C16/515C23C16/511C23C16/52C23C16/40C23C16/505
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Auer Lighting GmbH
Schott AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
SCHOTT
Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.
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Vertreten von
Herden, Andreas F
Wiesbaden, Deutschland
356
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