System und Verfahren zur Erzeugung von Ionen und Radikalen
EP1921657
Art A3
5. Mai 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1921657
- Aktenzeichen
- EP07115857
- Anmeldetag
- 6. September 2007
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H05H1/46H01J27/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schickedanz, Willi
Offenbach, Deutschland
175
Patente gesamt
27
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte