System und Verfahren zur Steuerung der elektromagnetischen Strahlung während einer PECVD-Entladungsprozesses
EP1921659
Art A3
10. Juni 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1921659
- Aktenzeichen
- EP07115860
- Anmeldetag
- 6. September 2007
- Veröffentlichung
- 10. Juni 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Buchhold, Jürgen
Frankfurt am Main, Deutschland
341
Patente gesamt
31
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
-
Zimmermann & Partner
Zimmermann & Partner · München
-
Hamel, Armin
Iridium IP · Mannheim
-
Schickedanz, Willi
NoneOffenbach