Behandlung eines chlorgashaltigen Abgases

EP1923122 Art A1 21. Mai 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1923122
Aktenzeichen
EP07021112
Anmeldetag
29. Oktober 2007
Veröffentlichung
21. Mai 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/14B01D53/70B01D53/75B01D53/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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