Abscheidung von amorphen Siliziumschichten durch Elektronzyclotron-Wellenresonanz
EP1923483
Art A1
21. Mai 2008
Anmelder: Dow Corning Corporation, Ecole Polytechnique 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1923483
- Aktenzeichen
- EP06301114
- Anmeldetag
- 2. November 2006
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/24C23C16/511H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Dow Corning Corporation
Ecole Polytechnique - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Dow Corning
US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.
2.754 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Greene, Simon Kenneth
Sevenoaks, Großbritannien
2.080
Patente gesamt
33
Fachgebiete
22
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Portch, Daniel
NoneSevenoaks
-
Boon, Graham Anthony
NoneSevenoaks