Immersionsbelichtungsgerät und Belichtungsverfahren

EP1923744 Art B1 18. September 2013

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1923744
Aktenzeichen
EP07121119
Anmeldetag
20. November 2007
Veröffentlichung
18. September 2013
Erteilung
18. September 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Canon Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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