Selektive Entfernung von seltenerdenenthaltenden Stoffen in einer Halbleitervorrichtung

EP1923910 Art B1 13. Juni 2018

Anmelder: IMEC VZW, IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1923910
Aktenzeichen: EP07119093
Anmeldetag: 23. Oktober 2007
Veröffentlichung: 13. Juni 2018
Erteilung: 13. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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