Beleuchtungsvorrichtung einer Fotolithographievorrichtung
EP1924889
Art B1
14. Januar 2009
Anmelder: SAGEM Défense Sécurité, Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd. 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1924889
- Aktenzeichen
- EP06793241
- Anmeldetag
- 5. September 2006
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2009
- Erteilung
- 14. Januar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SAGEM Défense Sécurité
Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd. - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Sagem Défense Sécurité
Sagem Défense Sécurité war die auf Verteidigungs- und Sicherheitselektronik spezialisierte Sparte des französischen Konzerns Sagem, die im Zuge der Fusion mit Snecma in der Safran-Gruppe aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Nachrichtentechnik und Software, ergänzt um elektrische Energietechnik und Optik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2017.
493 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Callon de Lamarck, Jean-Robert
Paris, Frankreich
593
Patente gesamt
33
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