Verfahren zur Modifizierung von Dielektrischen Materialien

EP1925022 Art A2 28. Mai 2008

Anmelder: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE, Batelle Memorial Institute 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1925022
Aktenzeichen
EP06813551
Anmeldetag
18. August 2006
Veröffentlichung
28. Mai 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
Batelle Memorial Institute
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Battelle Memorial Institute

Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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